无油真空泵机组结构合理、选用的材料适当、动平衡性能良好、振动小、噪音低、密封性能好及易损件寿命长等。其真空泵腔内无油润滑，不产生废水、废气，可获洁净真空，对于化工设备进行的化学反应中的反应介质不会因为真空泵的排出而改变它的性质，所以有利于尾气洁净回收。

无油真空泵机组的重要组成部件：

1.机械传动部件：由电机通过三角带传动，驱动曲柄滑块结构作往复运动，滑块（十字头）将往复运动通过活塞杆传递给活塞。

2.吸、排气部件：活塞（安装有封气的F4活塞环），在气缸内往复运动形成缸内气体的膨胀和压缩，并通过轴向布置的进排气阀完成吸、排气动作。

3.辅助功能部件：曲轴箱内的润滑油通过溅油或油泵泵油润滑有关运动件，上部冷却水（0.2bar）带走气体压缩产生的热量，气缸内活塞环采用F4自润滑材料，无需另加油润滑。

4.填料密封部件：分为普通型和特殊性

5.普通型：选用聚四氟乙烯或橡胶类骨架油封

6.特殊性：专门针对易燃易爆气体（如co，干气、甲烷气等各种对环境要求较高的气体）。使用时通入具有一定压力，一定流量（参照工艺工况选择）的氮气，经过两次节流后，与泄漏到混合腔的工质混合，引到系统外，从而避免了工质气体泄漏到环境中引发危险，避免了空气进入气缸污染原料。

7.隔腔：为防止填料部件实效引起物料泄漏，污染曲轴箱内润滑油，加装隔腔部件，从而彻底隔绝过流部分和运动部件的接触途径，保证真空系统的无油。特别适用于物料具有一般腐蚀性，对机油有较强敏感度或要求较高清洁度的尾气回收等环境。